В Нижнем Новгороде получили патент на глубокую очистку порошка для микросхем
Метод глубокой очистки нанопорошка кремниевого диоксида запатентовали в нижегородском Университете Лобачевского. Его разработали для микроэлектроники. Об этом сообщили ТАСС в вузе.
Авторы изобретения работают в научно-исследовательской лаборатории инженерной химии НИИ химии университета. Наряду с очисткой они предложили комплексный подход к настройке характеристик наночастиц: технология позволяет задавать их форму и размер, обеспечивать стабильность, высокую однородность и малое количество примесей. От такого сочетания свойств зависит пригодность материала для выпуска микросхем.
Для получения продукта ученые создали технологическую линию и подготовили регламент. Удалось получить устойчивую суспензию — ее направили промышленному партнеру, которому предстоит опробовать материал.
Руководитель исследования, кандидат химических наук, научный сотрудник научно-исследовательской лаборатории инженерной химии Ксения Отвагина пояснила, что изобретение предназначено для очистки диоксида кремния в аморфной форме. Такой материал нужен для химико-механической полировки полупроводниковых пластин. Применять его можно и в других процессах, которым требуются абразивные наноматериалы с высокой степенью чистоты.
Отвагина связала качество обработки пластин с размерами наночастиц, их формой и однородностью. Качество этой обработки определяет, насколько надежной и производительной будет будущая электроника. По оценке исследователя, отечественные материалы, характеристики которых можно контролировать, важны для развития российской микроэлектроники и сокращения зависимости от зарубежных поставщиков.
Ректор ННГУ имени Н. И. Лобачевского Олег Трофимов назвал создание собственной компонентной базы одной из ключевых задач страны. Он отметил, что вуз стремится обеспечить весь путь разработки: начать с фундаментальных исследований и довести ее до серийного внедрения. Масштабирование технологии и переход к испытаниям у промышленного партнера ректор оценил как подтверждение верного направления работы.
Ограничения поставок сделали критически необходимым создание российских аналогов, которые по своим характеристикам могли бы соответствовать зарубежной продукции.
Источник: ТАСС